대면적 세라믹진공척 / 에어 부상유닛 Large area-ceramic vacuum chuck / Air floating unit

진공척 모듈의 핵심 부품 소재인 다공성 세라믹 패드를 자체 제작 하고 있습니다. 타사 제품과 비교하여 대면적 패드사용이 가능하며, 균일한 진공흡착력을 특징으로 하고 있습니다. 에어 부상 유닛은 압축공기를 세라믹패드에 공급하여 글래스 등의 검사물을 부상시키는데 활용되고 있습니다

백라이트 진공척 Back light vacuum chuck

광투과 기능과 진공 흡착기능을 동시에 갖는 Dual function의 백라이트 진공척입니다. PCB, 투명필름, 웨이퍼, 글래스등 각종 부품소재의 검사및 얼라이먼트 장비에 쓰이고 있으며, Wfer Dicing 공정에도 유용하게 활용될 수 있습니다.

세라믹 단열재 Ceramic foam insulation

국내 최초로 개발된 세라믹폼 제품으로 분진이 발생하지 않으며, 기공율이 높아 낮은 열전도성의 단열이 뛰어난 내화단열재 입니다. 실리카, 알루미나, 뮬라이트, 지르코니아등 다양한 재질의 제품을 제조하고 있습니다.

세라믹 박판히터 Ceramic thin plate heate

세라믹폼 단열재에 박판 발열체를 실장하여 제조한 평판형 히터입니다. 단열성이 높은 세라믹폼을 베이스로 하여 열손실을 최소화 하였습니다.

세라믹 필터 Ceramic filter

세라믹 폼 형태의 필터는 기존의 섬유상 필터나 입자상 필터에 비해 역세(Back washing)능력이 뛰어나고 내열성, 내화학성, 내구성 및 유체 투과특성이 우수합니다.

경량 통기성 도가니 Light weight-permeable crucible

다공성 세라믹을 활용한 경량 내화갑입니다. 열충격성이 뛰어날뿐 아니라 통기성이므로 내화갑 안으로 공기가 잘 통합니다.