대학 벤처기업으로 시작하여 20년이상 축척된 기술력!!
국제저명학회지 논문발표, 특허취득!!
균일한 크기의 기공들로 왜곡과 긁힘 없이 부분흡착 부터 대면적까지!!
대면적 세라믹 진공척 / 에어 부상유닛 Large area-ceramic vacuum chuck / Air floating unit
대면적 세라믹 진공척 (Large ceramic vacuum chuck)
기존의 금속 흡착판을 미세 기공을 갖는 다공성 세라믹으로 대체한 진공척 제품입니다.타사의 제품과 비교하여 대면적(500×500이상) 제품이 가능하며 부분흡착 및 균일한 부착력을 갖는 특징이 있습니다. 또한 광투과 진공척, 열충격 진공척 등 특수 진공척도 제작하고 있습니다.
에어 부상유닛 (Air floating unit)
다공성 세라믹을 이용한 비접촉 에어프로팅 유닛(non-contact air floating unit)은 사용 용도에 맞춘 재질 및 형태로 제작 가능합니다. 또한 소결 세라믹 소재를 베이스로 하기 때문에 카본 소재등을 사용하여 제작하는 기존 제품 대비 비산 미세입차가 발생하지 않는 특징을 갖습니다.
반도체 패키징공정의 진공척 적용
[일반 Dicing 공정]
진공척 적용
[진공적 적용후]
Operation principle
Characteristics
- 진공척의 핵심 부품인 패드의 소형화 및 경량화 달성
- 사용 용도에 맞춘 재질 및 형태 선택 가능
- 비산 미세 입자가 발생하지 않음
- 진공도에 견디는 고강도 발현
- 평면도 5/1000까지 정밀 가공 가능
Application
- 웨이퍼, PCB, 글래스등 검사장비
- 웨이퍼 Dicing 공정
- 반도체 패키징 공정
- 웨이퍼 필름등 이송장비
Specifications
| Specifications | Value | Unit | Remark | |
|---|---|---|---|---|
| Light transmittance | > 10 | [%] | For ceramic thickness 2t | |
| Chucking force | > 0.04 | [MPa] | 106 N/m2 | |
| Flatness (□ ) | 5, 10, 20, 30 | [μm] | ||
| Ceramic pad Properties | Bulk density | 2.0-2.2 | [g/cm3] | |
| Bending strength | 13 | [MPa] | ||
| Surface resistance | > 1012 | [Ω/sq] | ||
| Surface roughness | 3.3 | [μm] | Ra 기준, Possible under 1μm. | |
| Surface hardness | > 95 | [HS] | ||
| Pore size | 5 - 15 | [μm] | ||
| Porosity | 30 - 50 | [%] | ||
| Color | White | [-] | ||