대학 벤처기업으로 시작하여 20년이상 축척된 기술력!!
다수의 국제저명학회지 논문발표 및 특허취득!!
세라믹 진공척 / 에어 부상유닛 Ceramic vacuum chuck / Air floating unit
균일한 크기의 가공들로 왜곡과 긁힘 없이 부분흡착 부터 대면적까지!!
대면적 세라믹 진공척 (Large ceramic vacuum chuck)
기존의 금속 흡착판을 미세 기공을 갖는 다공성 세라믹으로 대체한 진공척 제품입니다. 타사의 제품과 비교하여 대면적(500×500이상) 제품이 가능하며 부분흡착 및 균일한 부착력을 갖는 특징이 있습니다. 또한 광투과 진공척, 열충격 진공척 등 특수 진공척도 제작하고 있습니다.
에어 부상유닛 (Air floating unit)
다공성 세라믹을 이용한 비접촉 에어프로팅 유닛(non-contact air floating unit)은 사용 용도에 맞춘 재질 및 형태로 제작 가능합니다. 또한 소결 세라믹 소재를 베이스로 하기 때문에 카본 소재등을 사용하여 제작하는 기존 제품 대비 비산 미세입차가 발생하지 않는 특징을 갖습니다.
반도체 패키징공정의 진공척 적용
[일반 Dicing 공정]
진공척 적용
[진공적 적용후]
Operation principle
Characteristics
- 진공척의 핵심 부품인 패드의 소형화 및 경량화 달성
- 사용 용도에 맞춘 재질 및 형태 선택 가능
- 비산 미세 입자가 발생하지 않음
- 진공도에 견디는 고강도 발현
- 평면도 5/1000까지 정밀 가공 가능
Application
- 웨이퍼, PCB, 글래스등 검사장비
- 웨이퍼 Dicing 공정
- 반도체 패키징 공정
- 웨이퍼 필름등 이송장비
Specifications
| Specifications | Value | Unit | Remark | |
|---|---|---|---|---|
| Light transmittance | > 10 | [%] | For ceramic thickness 2t | |
| Chucking force | > 0.04 | [MPa] | 106 N/m2 | |
| Flatness (□ ) | 5, 10, 20, 30 | [μm] | ||
| Ceramic pad Properties | Bulk density | 2.0-2.2 | [g/cm3] | |
| Bending strength | 13 | [MPa] | ||
| Surface resistance | > 1012 | [Ω/sq] | ||
| Surface roughness | 3.3 | [μm] | Ra 기준, Possible under 1μm. | |
| Surface hardness | > 95 | [HS] | ||
| Pore size | 5 - 15 | [μm] | ||
| Porosity | 30 - 50 | [%] | ||
| Color | White | [-] | ||