대학 벤처기업으로 시작하여 20년이상 축척된 기술력!!
국제저명학회지 논문발표, 특허취득!!
균일한 크기의 기공들로 왜곡과 긁힘 없이 부분흡착 부터 대면적까지!!
기존의 금속 흡착판을 미세 기공을 갖는 다공성 세라믹으로 대체한 진공척 제품입니다.타사의 제품과 비교하여 대면적(500×500이상) 제품이 가능하며 부분흡착 및 균일한 부착력을 갖는 특징이 있습니다. 또한 광투과 진공척, 열충격 진공척 등 특수 진공척도 제작하고 있습니다.
다공성 세라믹을 이용한 비접촉 에어프로팅 유닛(non-contact air floating unit)은 사용 용도에 맞춘 재질 및 형태로 제작 가능합니다. 또한 소결 세라믹 소재를 베이스로 하기 때문에 카본 소재등을 사용하여 제작하는 기존 제품 대비 비산 미세입차가 발생하지 않는 특징을 갖습니다.
[일반 Dicing 공정]
진공척 적용
[진공적 적용후]
Specifications | Value | Unit | Remark | |
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Light transmittance | > 10 | [%] | For ceramic thickness 2t | |
Chucking force | > 0.04 | [MPa] | 106 N/m2 | |
Flatness (□ ) | 5, 10, 20, 30 | [μm] | ||
Ceramic pad Properties | Bulk density | 2.0-2.2 | [g/cm3] | |
Bending strength | 13 | [MPa] | ||
Surface resistance | > 1012 | [Ω/sq] | ||
Surface roughness | 3.3 | [μm] | Ra 기준, Possible under 1μm. | |
Surface hardness | > 95 | [HS] | ||
Pore size | 5 - 15 | [μm] | ||
Porosity | 30 - 50 | [%] | ||
Color | White | [-] |