제품소개

대면적 세라믹 진공척

기존의 금속 흡착판을 미세 기공을 갖는 다공성 세라믹으로 대체한 진공척 제품입니다.
타사의 제품과 비교하여 투과율이 매우 높으며 균일한 부착력을 갖는 특징이 있습니다.
또한 550×550 이상의 대면적으로 제작이 가능하며, 또한 광투과 진공척, 열충격 진공척 등 특수 진공척도 제작하고 있습니다.

Characteristics

  • 진공척의 핵심 부품인 패드의 소형화 및 경량화 달성
  • 사용 용도에 맞춘 재질 및 형태 선택 가능
  • 비산 미세 입자가 발생하지 않음 (실험으로 확인)
  • 진공도에 견디는 고강도 발현

Application

  • 광투과 진공척 3HS
  • 열충격 진공척 3HM, 3HA

제품의 주요 물성

Category Characteristics Unit Value Remark
Mechanical
characteristics
Bulk density g/cm3 1.0~1.5 3HS 기준
Bending strength N/mm2 13 -
Sheet resistance Ω/sq 107~108 -
Chemical
characteristics
Primary material - SiO2 Al2O3 is available
Pore
characteristics
Surface pore size μm 1~10 -
Permeable layer pore size μm 30~70 -
Porosity % 40~60 -
Other
characteristics
Color - Black Others available