제품소개
대면적 세라믹 진공척
기존의 금속 흡착판을 미세 기공을 갖는 다공성 세라믹으로 대체한 진공척 제품입니다.
타사의 제품과 비교하여 투과율이 매우 높으며 균일한 부착력을 갖는 특징이 있습니다.
또한 550×550 이상의 대면적으로 제작이 가능하며, 또한 광투과 진공척, 열충격 진공척 등 특수 진공척도 제작하고 있습니다.
Characteristics
- 진공척의 핵심 부품인 패드의 소형화 및 경량화 달성
- 사용 용도에 맞춘 재질 및 형태 선택 가능
- 비산 미세 입자가 발생하지 않음 (실험으로 확인)
- 진공도에 견디는 고강도 발현
Application
- 광투과 진공척 3HM
- 열충격 진공척 3HS
제품의 주요 물성
| Category | Characteristics | Unit | Value | Remark |
|---|---|---|---|---|
| Mechanical characteristics |
Bulk density | g/cm3 | 1.0~1.5 | 3HS 기준 |
| Bending strength | N/mm2 | 13 | - | |
| Sheet resistance | Ω/sq | 107~108 | - | |
| Chemical characteristics |
Primary material | - | SiO2 | Al2O3 is available |
| Pore characteristics |
Surface pore size | μm | 1~10 | - |
| Permeable layer pore size | μm | 30~70 | - | |
| Porosity | % | 40~60 | - | |
| Other characteristics |
Color | - | Black | Others available |